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高純氫中微量烴污染該如何預(yù)防呢
信息來源：www.inecuku.cn | 發(fā)布時(shí)間：2021年05月27日
高純氫氣體廣泛用于電子工業(yè)、石油化工、金屬冶煉、國防和科學(xué)研究等部門，也可作為配制標(biāo)準(zhǔn)氣體的原料氣和色譜用載氣。高純氣體廠家,高純氣體批發(fā)講述隨著科學(xué)技術(shù)的高速發(fā)展，科學(xué)實(shí)驗(yàn)和工業(yè)產(chǎn)品生產(chǎn)尤其是一些高新科技產(chǎn)品，如超大規(guī)模集成電路、光電產(chǎn)品生產(chǎn)中需對氫氣純度及其雜質(zhì)含量嚴(yán)格控制，要求將O2、H2O、HTC(總碳?xì)浠衔?、CO、CO2等雜質(zhì)純化至10-9-10-12；在有色金屬冶煉和加工，硅鋼、帶鋼、精密合金以及浮法玻璃等生產(chǎn)中都需要使用純度在99.999%左右的氫氣；在氣體工業(yè)中需以純氫氣用于氣體分析和氣體精制。目前工業(yè)化制取的工業(yè)氫氣大部分應(yīng)經(jīng)過純化處理后才能滿足各行各業(yè)的需要。其中氫氣純化方法主要包括化學(xué)吸收法、催化反應(yīng)法、選擇吸附法、膜分離法。一、總烴測定的方法原理及定量方法
在氣相色譜分析檢測過程中，氣相色譜儀對所用的氣體純度有較高的要求，為達(dá)到工作要求，又能延長儀器壽命，所用氣體的純度要達(dá)到或略高于儀器自身對氣體純度的要求；否則，若使用不符合要求的低純度氣體，會造成一系列不良影響。此外，在硅外延工藝中，氫氣與四氯化硅或三氯氫硅在加熱的硅襯底表面發(fā)生反應(yīng)，還原出硅沉積到硅襯底上，生成外延層。上述過程中對氫氣的純度要求很高。如果含有過高的碳?xì)浠衔?，則會生成碳化硅，引起外延層中星形缺陷。因此要對高純氫中所含的總烴進(jìn)行有針對性的監(jiān)測。
1、方法和原理
我國國家標(biāo)準(zhǔn)推薦的氣體中總烴的測定方法為氫火焰離子化法，目前絕大多數(shù)的實(shí)驗(yàn)室均采用此法。該方法的工作原理：樣品進(jìn)入離子化室后，在氫火焰的高溫作用下電離產(chǎn)生陽離子，由于離子數(shù)與被測組分含量成正比，從而可確定其含量，由工作站（或記錄儀）記錄下相應(yīng)組分的色譜峰。
總烴在火焰離子化檢測器上的響應(yīng)信號為多種碳?xì)浠衔锏男盘柨偤?，到目前為止，除了食品級二氧化碳的國家?biāo)準(zhǔn)中規(guī)定總烴以甲烷計(jì)，其它氣體中總烴定量沒有統(tǒng)一基準(zhǔn)，在此也采用甲烷為基準(zhǔn)物，分析結(jié)果以甲烷計(jì)。
氫氣是易燃壓縮氣體。儲存于陰涼、通風(fēng)的倉間內(nèi)。倉內(nèi)溫度不宜超過30℃。遠(yuǎn)離火種、熱源。防止陽光直射。應(yīng)與氧氣、壓縮空氣、鹵素（氟、氯、溴）、氧化劑等分開存放。切忌混儲混運(yùn)。儲存間內(nèi)的照明、通風(fēng)等設(shè)施應(yīng)采用防爆型，開關(guān)設(shè)在倉外，配備相應(yīng)品種和數(shù)量的消防器材。禁止使用易產(chǎn)生火花的機(jī)械設(shè)備工具。驗(yàn)收時(shí)要注意品名，注意驗(yàn)瓶日期，進(jìn)倉的先發(fā)用。搬運(yùn)時(shí)輕裝輕卸，防止鋼瓶及附件破損。
